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    行業資訊

    工業冷水機:精密半導體晶圓劃切的溫控利器

    半導體晶圓劃切是將晶圓分割成單個芯片的關鍵工序,切割過程中產生的熱量會影響切割精度與芯片質量。工業冷水機憑借高效的冷卻性能和精準的溫控能力,成為精密半導體晶圓劃切的溫控利器。

    螺桿式冷水機.jpg

    在晶圓劃切時,高速旋轉的劃切刀與晶圓劇烈摩擦產生大量熱量,若不及時散熱,會導致晶圓局部溫度升高,引發熱應力,造成芯片邊緣崩裂、表面損傷等問題,降低芯片良品率。工業冷水機通過循環冷卻系統,為劃切設備的主軸、劃切刀和冷卻管路提供低溫冷卻液,迅速帶走切割產生的熱量,將晶圓表面溫度穩定控制在 15 - 20℃。其大流量、低溫度的冷卻液可有效降低劃切刀的溫度,減少刀具磨損,延長刀具使用壽命,同時保證晶圓在低溫環境下進行切割,提高切割精度和表面質量。

    對于超薄晶圓和先進封裝工藝中的劃切需求,工業冷水機的溫控精度尤為重要。在劃切厚度僅幾十微米的晶圓時,微小的溫度波動都可能導致晶圓變形,影響切割效果。工業冷水機配備高精度溫度傳感器和智能控制系統,將冷卻液溫度波動控制在 ±0.1℃以內,確保劃切過程穩定可靠。某半導體制造企業引入工業冷水機后,晶圓劃切的崩邊量減少 50%,芯片良品率提高到 98%,顯著提升了半導體生產的效率與質量,助力企業在高端芯片制造領域占據優勢。


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